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1.光刻机一台1.2亿美元，什么概念呢？美国最先进的第五代战机F-35闪电II式的售价不到8000万美元；
2.全球目前光刻机市场几乎被3家厂商瓜分：荷兰的阿斯麦（ASML）、日本的尼康（Nikon）和佳能（Canon）。而在EUV光刻机市场中，阿斯麦的市场占有率则是100%；
3.林本坚提出“沉浸式光刻”方法时，任职台积电研发副经理；
4.2012年，阿斯麦提出一项“客户联合投资计划”（CCIP，Customer Co-Investment Program），即：接受客户的注资，客户成为股东的同时拥有优先订货权；
5.大力投资搞技术研发是阿斯麦的传统，根据2019年度财报，阿斯麦全年投入了20亿欧元用于技术研发，占到净销售额（118.2亿欧元）的16.9%。
6.1977年，我国第一台光刻机诞生，加工晶片直径为75毫米。今天，国产光刻机制造商有上海微电子、中科院光电所等，最先进的设备推进至22nm节点，而国际最先进工艺已突破5nm节点。